株式会社 アイティ・テック
http://www.ittec.co.jp
アイティ・テックは、産業・バイオ関連システムおよび
光学画像検査機メーカーとして新技術の製造・開発分野
で要求される光技術応用の特注光学検査機の製作を開発
・企画・検討・試作からメンテナンス・アフターサービ
スを致します。
【取扱製品・制作事例】
■ 新製品
・フォトマスク露光修正装置用 微小スポット露光顕微鏡
・ポータブル溝形状測定機
■ オートフォーカス
・自動顕微鏡 LSAF1/LSAF2
・顕微鏡AFユニット
・赤外線顕微鏡
・マクロAF
■ 半導体関連
・ウェハエッジ検査装 ：（8"＆12"用、組込ユニット）
・サファイア基盤外観欠陥自動検査機
・ＭＥＭＳウェハ検査機
・ウェハプロファイラ
・スタックカウンタ
・チップモニタ検査機
・ＢＧウェハ検査機
・チップ素子欠陥検査機
・ローラ測定機
■ フラットパネル関連
・パネル露光前異物検査機
・パネル電極検査機
・５５"小型顕微鏡
・測長顕微鏡
・大型パネル顕微鏡
・ITO膜検査装置（タッチパネル用）
■ 電子部品・その他
・高さ測定検査機
・ベルヌイドロップ
・標準スケール
詳細は、株式会社アイティ・テック殿のHPをご参照下さい。
■ 株式会社アークステーション
http://www.ark-station.com/
株式会社アークステーションは、フィールドサービス専門集団とし
て各種業界の保守メンテナンスに特化して事業を展開しています。
主力の半導体業界では、メーカーのパートナーとしてメンテナンス
を中止した装置の保守業務委託を受け延命事業を独自に展開して
います。
詳細は、株式会社アークステーション殿のHPをご参照下さい。
■ 株式会社ラポールシステム
http://www.lapole.co.jp/
ラポールシステムでは”計測・制御・通信”を柱に、半導体通信システム
＆パッケージ、画像検査システムやお客様ご要求に基づくハードウェア・
システム設計・製造を行なっております。
・ソーラーウェハ検査装置
本装置は、洗浄・乾燥工程後に排出されたカセット内ウェハの欠け
・割れ・くっつき、左右挿入スロット位置ズレを自動検出する装置
です。
検査対象ウェハ： □100mm、□125mm、□156mm
・ガラス基板エッジ外観検査装置
洗浄前のガラス基板のエッジのクラック検出、グラインディング幅、
コーナーカット、オリフラカット、チッピングの欠陥検査を行うシ
ステムです。
・PDP／TFTガラス外観検査装置
各世代のパネル内部欠陥、および表面異物のガラス外観検査シス
テムです。
・BOW（歪み）検査装置
TFT・LCDガラスの歪み検査を行うシステムです。
ガラスに保護フイルムが付着した状態での検査、及び厚さの違う数種
類のガラスも検査出来ます。
また、既存設備への検査ユニットの組み込みも可能です。
・膜厚測定装置 LF-1000
他社にはない、お客様の運用に合わせた膜厚測定装置をご提供致します。
分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの設定を
する事により、薄膜（1nm）～厚膜（1mm）の測定を可能とした非接触
式自動膜厚測定装置です。
マニュアル仕様と自動搬送仕様（GEM通信オプション）があり、カセッ
ト数、FOUP、ポート数もお客様のご要求仕様に対応致します。
・通信システム（GEM＆GEM300ドライバ／EESパッケージ／T-BOX）
etc.
詳細は、株式会社ラポールシステム殿のHPをご参照下さい。
■ 株式会社リッチモアインターナショナル
http://www.richmore.co.jp/index.htm
株式会社リッチモアインターナショナルは、昭和62年に設立し活動
している半導体機器輸入商社です。コアとなる商品を数多く取り扱
い、日本のお客様へご提供しております。
●下記のメーカーの日本総代理店です。
・Tiger Optics社
・Meeco社
・MDC社
・ISI社
・AccGlass社
・Meivac社
・PENTAGON社
【取扱製品概要】
・MDC社／ISI社／AccGlass社
真空備品、真空機器部品、フランジ、ビューポート、電子銃、
回転導入端子、直線導入端子、ポートアライナー、ロードロック
システム、θステージ、X-Y-Zステージ、バキュームチャンバ、
ゲートバルブ、アングルバルブなど
・Meeco社
気体中の微量水分測定の分野では長い実績有り。
・Tiger Optics社
キャビティリングダウン分光方式、微量水分測定器
・Meivac社
マグネトロンスパッターソース（旧US Inc）、スロットバルブ
・Honeywell MST Technology（ハネウエルMST）社
校正が不要で各種ヨーロッパ規格に適合した漏洩ガス監視装置
（ガス漏れ監視装置、ガス漏れモニター、ガス漏れ警報器）
- MDA Scientific ガス検知システム： MIDAS、SPM
・PENTAGON（ペンタゴン）社
QⅢ+® 表面パーティクル検出器
【その他取扱いメーカー】
・シグマ社
・CyberOptics社
・METRON Thechnology社
・OPW社
・Class 1（クラスワン）社
・Scott（スコット）社
詳細は、株式会社 リッチモア インターナショナル殿のHPを
ご参照下さい。
■ 株式会社フィルテック http://www.philtech.co.jp/index.html
Philtechは、適切なテストウェハで貴社の技術開発を支援
いたします。
詳細は、株式会社フィルテック殿のHPをご参照下さい。
■ 株式会社エーディーエステック
http://www.ads-tec.co.jp/index.html
【事業内容】
・画像関連機器の輸入販売及びそれに付帯する製品のシステムアップ
及び販売
・遺伝子関連機器の開発並びに製造販売
詳細は、株式会社ハイベック殿のHPをご参照下さい。
■ 株式会社ハイベック
http://www.hybec.co.jp/
【事業内容】
・非接触加熱機器および関連装置の開発・設計・製造・販売
詳細は、株式会社ハイベック殿のHPをご参照下さい。
■ スターテック株式会社
・米国 Galiso社 日本総代理店
・チャンバークリーニングの究極のアプローチ： HGS-101
代表取締役社長 平澤 正勝 様
材料関係(半導体)、市場開拓